| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6044951(A) |
申请公布日期 |
1985.03.11 |
| 申请号 |
JP19840116741 |
申请日期 |
1984.06.08 |
| 申请人 |
INTERN BUSINESS MACHINES CORP |
发明人 |
JIYON HAWAADO KERAA;JIEEMUZU ROBAATO UINAADO |
| 分类号 |
H01J37/12;H01J37/04;H01J37/10;H01J37/147;H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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