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发明名称 KJEMISK PAADAMPINGSAPPARAT
摘要
申请公布号 NO843147(A) 申请公布日期 1985.03.01
申请号 NO19840003147 申请日期 1984.08.06
申请人 ANICON, INC, 发明人 CAMPBELL, BRYANT A.,;DUBOIS, DALE R.,;MANRIQUES, RALPH F.,;MILLER, NICHOLAS E.,
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):C23C/ 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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