发明名称 PROCESS FOR DIFFUSION ZINC INTO SEMICONDUCTOR COMPOUNDS AIII-UPWARDS-BV-UPWARDS,ESPECIALLY FOR PREPARING P UP +TYPE THIN FILMS
摘要
申请公布号 PL132120(B1) 申请公布日期 1985.02.28
申请号 PL19800225942 申请日期 1980.07.28
申请人 发明人
分类号 H01L;H01L21/223;(IPC1-7):H01L21/223 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
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