发明名称 LASER PARTICLE GENERATOR
摘要
申请公布号 GB2080027(B) 申请公布日期 1985.02.27
申请号 GB19810021327 申请日期 1981.07.10
申请人 HUGHES TECHNOLOGY PTY LTD 发明人
分类号 B23K26/00;C23C14/48;H01J37/285;H01J37/317;H05H1/22;(IPC1-7):H01L21/428;H01J37/08;H01J37/22;H01J37/075 主分类号 B23K26/00
代理机构 代理人
主权项
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