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发明名称 FLASH ANNEALING METHOD OF HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON
摘要
申请公布号 JPS6021807(A) 申请公布日期 1985.02.04
申请号 JP19830130308 申请日期 1983.07.19
申请人 RICOH KK 发明人 ITAGAKI MASAKUNI
分类号 C01B33/02;H01L21/26;H01L21/324 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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