| 摘要 |
<P>DISPOSITIF D'EVAPORATION SOUS VIDE.</P><P>ENTRE UNE ENCEINTE PRINCIPALE10 ET UNE CHAMBRE ANNEXE20 SE TROUVE UN TUBE CHAUFFANT52. LA CELLULE D'EVAPORATION22 PEUT SE DEPLACER GRACE A UN SOUFFLET ETANCHE40. LA COURSE DE CE SOUFFLET EST JUSTE SUFFISANTE POUR QU'UNE VANNE D'ETANCHEITE50 ISOLE L'ENCEINTE PRINCIPALE DE LA CHAMBRE ANNEXE.</P><P>APPLICATION AUX INSTALLATIONS DE DEPOT SOUS VIDE, NOTAMMENT PAR EPITAXIE PAR JET MOLECULAIRE.</P>
|
