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发明名称 EXPOSURE METHOD UTILISING AN ENERGY BEAM
摘要
申请公布号 EP0074238(A3) 申请公布日期 1985.01.30
申请号 EP19820304571 申请日期 1982.08.31
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA;TOSHIBA MACHINE COMPANY LIMITED 发明人 TAKIGAWA, TADAHIRO PATENT DIVISION TOKYO SHIBAURA;KAWAUCHI, YASUNOBE
分类号 H01L21/027;H01J37/302;H01L21/30;(IPC1-7):H01J37/302;G06F15/62 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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