| 摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE UN PROCEDE ET UN APPAREIL DE COMMANDE DE REVETEMENT PAR PULVERISATION.</P><P>LE CHAMP MAGNETIQUE 21 D'UN APPAREIL DE REVETEMENT PAR PULVERISATION A MAGNETRON EST COMMANDE EN REPONSE A DES MESURES DE PARAMETRES DU PLASMA 5, 34, 37, 47, 49. DE TEMPS A AUTRE, L'APPAREIL EST NORMALISE POUR CHANGER DES VALEURS PREREGLEES DES PARAMETRES DU PLASMA AFIN DE MAINTENIR CONSTANTS LA VITESSE DE DEPOT ET LE PROFIL DE DISTRIBUTION DES ATOMES DEPOSES.</P><P>L'INVENTION S'APPLIQUE NOTAMMENT AU DEPOT DE REVETEMENT DE MATIERES MAGNETIQUES ET NON MAGNETIQUES.</P>
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