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发明名称
Verfahren und anordnung zur schichtdickensteuerung und schichtdickenmessung bei aufdampfprozessen
摘要
申请公布号
DD217825(A1)
申请公布日期
1985.01.23
申请号
DD19830253746
申请日期
1983.08.05
申请人
DEUTSCHE POST,RUNDFUNK- UND FERNSEHTECHNISCHES ZENTRALAMT,DD
发明人
RICHTER,KURT,DD;STADLMANN,HELMUT,DD
分类号
C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/54
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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