发明名称 Verfahren und anordnung zur schichtdickensteuerung und schichtdickenmessung bei aufdampfprozessen
摘要
申请公布号 DD217825(A1) 申请公布日期 1985.01.23
申请号 DD19830253746 申请日期 1983.08.05
申请人 DEUTSCHE POST,RUNDFUNK- UND FERNSEHTECHNISCHES ZENTRALAMT,DD 发明人 RICHTER,KURT,DD;STADLMANN,HELMUT,DD
分类号 C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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