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经营范围
发明名称
PINCH CHUCK
摘要
申请公布号
JPS609626(A)
申请公布日期
1985.01.18
申请号
JP19840051296
申请日期
1984.03.19
申请人
INTERN BUSINESS MACHINES CORP
发明人
BUINSENTO DEI MIRIA;JIYUAN RAMON MARUDONADO;JIEEMUZU RUISU SUPAIDERU;JIYON MAIKERU WAAROUMONTO
分类号
B23Q3/08;B23Q3/18;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/67;H01L21/683;(IPC1-7):B23Q3/08;H01L21/68
主分类号
B23Q3/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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