发明名称 PINCH CHUCK
摘要
申请公布号 JPS609626(A) 申请公布日期 1985.01.18
申请号 JP19840051296 申请日期 1984.03.19
申请人 INTERN BUSINESS MACHINES CORP 发明人 BUINSENTO DEI MIRIA;JIYUAN RAMON MARUDONADO;JIEEMUZU RUISU SUPAIDERU;JIYON MAIKERU WAAROUMONTO
分类号 B23Q3/08;B23Q3/18;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/67;H01L21/683;(IPC1-7):B23Q3/08;H01L21/68 主分类号 B23Q3/08
代理机构 代理人
主权项
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