| 发明名称 |
STABLE SUSPENSION OF BORON, PHOSPHORUS, ANTIMONY AND ARSENICDOPANT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS605100(A) |
申请公布日期 |
1985.01.11 |
| 申请号 |
JP19840118057 |
申请日期 |
1984.06.08 |
| 申请人 |
ALLIED CHEM CORP |
发明人 |
ARUNABA GUTSUPUTA;GEIRII AREN UESUTO;JIEFURII PIITAA DONRAN |
| 分类号 |
C30B31/02;H01L21/22;H01L21/225;(IPC1-7):C30B31/04 |
主分类号 |
C30B31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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