摘要 |
<P>CATHODE DE MAGNETRON POUR INSTALLATIONS DE PULVERISATION CATHODIQUE, AMELIORANT L'UTILISATION DU MATERIAU DE LA CIBLE SANS PARTICIPATION DES FACES POLAIRES OU DE PIECES DU BOITIER A LA PULVERISATION.</P><P>LES PROJECTIONS DE LA CIBLE 9 ET DES FACES POLAIRES 7C, 7D SUR UN PLAN COMMUN, PARALLELE A LA FACE 9A DE LA CIBLE NE SE RECOUPENT PAS. AU VOISINAGE DES FACES POLAIRES 7C, 7D, DANS LE BOITIER 16 EST EN SAILLIE SUR LA FACE 9A DE LA CIBLE, DANS LE SENS DE PULVERISATION, OU - LA RIGUEUR, SE SITUE DANS LE PLAN DE LADITE FACE. LE BOITIER 16 CONTENANT LE SYSTEME MAGNETIQUE 7 EST ISOLE ELECTRIQUEMENT DU PORTE-CIBLE 10 ET DE LA MASSE 4.</P>
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