发明名称 CATHODE DE MAGNETRON POUR INSTALLATIONS DE PULVERISATION CATHODIQUE
摘要 <P>CATHODE DE MAGNETRON POUR INSTALLATIONS DE PULVERISATION CATHODIQUE, AMELIORANT L'UTILISATION DU MATERIAU DE LA CIBLE SANS PARTICIPATION DES FACES POLAIRES OU DE PIECES DU BOITIER A LA PULVERISATION.</P><P>LES PROJECTIONS DE LA CIBLE 9 ET DES FACES POLAIRES 7C, 7D SUR UN PLAN COMMUN, PARALLELE A LA FACE 9A DE LA CIBLE NE SE RECOUPENT PAS. AU VOISINAGE DES FACES POLAIRES 7C, 7D, DANS LE BOITIER 16 EST EN SAILLIE SUR LA FACE 9A DE LA CIBLE, DANS LE SENS DE PULVERISATION, OU - LA RIGUEUR, SE SITUE DANS LE PLAN DE LADITE FACE. LE BOITIER 16 CONTENANT LE SYSTEME MAGNETIQUE 7 EST ISOLE ELECTRIQUEMENT DU PORTE-CIBLE 10 ET DE LA MASSE 4.</P>
申请公布号 FR2548826(A1) 申请公布日期 1985.01.11
申请号 FR19840010812 申请日期 1984.07.06
申请人 LEYBOLD HERAEUS GMBH 发明人 JORG KIESER, REINER KUKLA ET GERD DEPPISCH;KUKLA REINER;DEPPISCH GERD
分类号 C23C14/36;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):H01J23/05 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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