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发明名称 TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH07130721(A) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 JP19930294479 申请日期 1993.10.29
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK 发明人 NANBU MICHIHIRO;IIDA NARIAKI;GOTO HIDEAKI;TATEYAMA MASANORI;YOSHIMOTO YUJI
分类号 H01L21/31;H01L21/027;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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