| 发明名称 |
AUTOMATIC CASSETTE TRANSPORTING DEVICE ASSOCIATED WITH HEPA FILTRATION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS59225597(A) |
申请公布日期 |
1984.12.18 |
| 申请号 |
JP19840099732 |
申请日期 |
1984.05.19 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOC |
发明人 |
MAACHIIN EE HATSUCHINSON;FUREDERITSUKU TEII TAANAA;SUTANRII KEE GAADONAA |
| 分类号 |
B65G51/02;B65G49/07;H01L21/677;(IPC1-7):H05K13/02 |
主分类号 |
B65G51/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
