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发明名称
摘要
申请公布号
FR2465009(B1)
申请公布日期
1984.12.14
申请号
FR19790023147
申请日期
1979.09.17
申请人
LEYBOLD HERAEUS GMBH
发明人
分类号
C23C14/30;(IPC1-7):C23C13/12;F01D5/28;F02C7/30
主分类号
C23C14/30
代理机构
代理人
主权项
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