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发明名称 METHOD OF IONISATION OF STREAM OF PARTICLES AND DEVICE TO PERFORM THE METHOD
摘要
申请公布号 CS231558(B1) 申请公布日期 1984.12.14
申请号 CS19790008505 申请日期 1979.12.06
申请人 REISSE,GUENTER,DD;ROST,MANFRED,DD;ERLER,HANS-JOERG,DD;HENNY,FRIEDRICH,DD 发明人 REISSE,GUENTER,DD;ROST,MANFRED,DD;ERLER,HANS-JOERG,DD;HENNY,FRIEDRICH,DD
分类号 H01J37/317;C23C8/38;C23C14/22;C23C14/46;H01J37/08;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/265;H05H1/38;H05H1/40;H05H1/42;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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