| 摘要 |
本发明揭露一种整合无线射频辨识(RFID)之晶圆测试系统及其测试方法，此整合RFID之晶圆测试系统至少包括：一晶圆待测区，存放具有多个晶圆之载具，而载具设置有RFID标签；一探针机台，至少具有一运动平台、一探针卡夹持机构与一探针卡，运动平台系提供X-Y-Z三轴之移动以承载一受测之晶圆，探针卡系夹持固定于探针卡夹持机构；一测试机台，输入测试信号至探针机台以进行晶圆之测试，测试完后呼叫一介面程式以将晶圆之测试结果转换为一特定资料格式之档案；其特征在于上述载具设置有至少一RFID标签；上述探针机台设置有一RFID读取机，以读取来自RFID标签所储存之标签讯息；一RFID中介平台，藉由读取标签讯息，并呼叫相关应用程式以产生一对应之晶圆讯息；一资料分析系统，接收来自介面程式所转换之特定资料格式之档案，加以运算处理以产生晶圆测试后之良率讯息；以及一制程资讯系统，用以整合该RFID中介平台之晶圆讯息及EDA系统之良率讯息，据此可即时监控以晶圆为主之制程与良率。 |
