| 发明名称 |
A pattern examining method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2139754(A) |
申请公布日期 |
1984.11.14 |
| 申请号 |
GB19840011625 |
申请日期 |
1984.04.08 |
| 申请人 |
* DAINIPPON SCREEN SEIZO KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
TATSUNOSUKE * MASUDA |
| 分类号 |
H05K3/00;G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H05K1/02;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
H05K3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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