发明名称 LIFT-OFF SHADOW MASK
摘要
申请公布号 EP0076215(A3) 申请公布日期 1984.11.14
申请号 EP19820401747 申请日期 1982.09.28
申请人 FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORPORATION 发明人 LEHRER, WILLIAM I.;VINCAK, JOHN M.
分类号 G03F7/09;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31;G03F7/02;H01L21/00 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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