发明名称
摘要
申请公布号 JPS5946090(B2) 申请公布日期 1984.11.10
申请号 JP19790500264 申请日期 1979.11.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/208;C30B13/02;H01L21/228;H01L21/24 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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