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发明名称 VORRICHTUNG ZUM BRENNEN VON HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DE8414476(U1) 申请公布日期 1984.11.08
申请号 DE19840014476U 申请日期 1984.05.11
申请人 NORTON CO., WORCESTER, MASS., US 发明人
分类号 H01L21/673;C30B31/10;F27B17/00;H01L21/22;H01L21/677;(IPC1-7):F27B5/12 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
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