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发明名称 PROCESS FOR CONTROLLING THE OXYGEN CONTENT OF SILICON INGOTS PULLED BY THE CZOCHRALSKI METHOD
摘要
申请公布号 EP0042901(B1) 申请公布日期 1984.10.31
申请号 EP19800430013 申请日期 1980.06.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION;COMPAGNIE IBM FRANCE 发明人 COMBRONDE, JACQUES;FELIX, JEAN-CLAUDE
分类号 C30B15/00;C30B15/20;C30B15/30;C30B29/06;H01L21/18;H01L21/208;(IPC1-7):30B15/00;30B29/06;30B15/30 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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