| 发明名称 |
DEVELOPER FOR USE IN FORMING A POLYIMIDE PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0101165(A3) |
申请公布日期 |
1984.10.31 |
| 申请号 |
EP19830303600 |
申请日期 |
1983.06.22 |
| 申请人 |
TORAY INDUSTRIES, INC. |
发明人 |
HIRAMOTO, HIROO;EGUCHI, MASUICHI |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/32;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/26 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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