发明名称 포지티브형(positive type) 감광성 내식막 조성물
摘要 <p>내용 없음</p>
申请公布号 KR840004589(A) 申请公布日期 1984.10.22
申请号 KR19830002297 申请日期 1983.05.25
申请人 null, null 发明人 하나바따 마꼬또 (외 3)
分类号 G03F7/022;G03F7/023;G03F7/032;H01L21/027 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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