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发明名称 METAL COMPOUND QUICK REACTIVE SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPS59185775(A) 申请公布日期 1984.10.22
申请号 JP19830236002 申请日期 1983.12.14
申请人 BORG WARNER CORP 发明人 UIRIAMU DARASU SUPUROORU
分类号 C23C14/06;C23C14/00;C23C14/34;C23C14/35 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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