| 发明名称 |
DEVICE FOR COATING SUBSTRATE BY ADDITION REACTION OF PLASMA-EXCITED ATOMS OR MOLECULES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59182964(A) |
申请公布日期 |
1984.10.17 |
| 申请号 |
JP19830225513 |
申请日期 |
1983.12.01 |
| 申请人 |
LEYBOLD HERAEUS GMBH & CO KG |
发明人 |
KIESER, JOERG |
| 分类号 |
C08F2/00;B01J19/08;B01J19/12;B05D7/24;C08G85/00;C23C14/22;C23C16/50;C23C16/511;H01J37/32 |
主分类号 |
C08F2/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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