| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURE OF AMORPHOUS SILICON FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS59162118(A) |
申请公布日期 |
1984.09.13 |
| 申请号 |
JP19840000135 |
申请日期 |
1984.01.05 |
| 申请人 |
XEROX CORP |
发明人 |
FURANKU JIYANSEN;JIYOSEFU MOOTO |
| 分类号 |
C23C16/24;C23C16/503;H01J37/32;H01L21/205;H01L31/0248 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
