| 发明名称 |
MASS PRODUCTION TYPE VAPOR-PHASE GROWING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59142837(A) |
申请公布日期 |
1984.08.16 |
| 申请号 |
JP19830016762 |
申请日期 |
1983.02.03 |
| 申请人 |
FUJI DENKI SOUGOU KENKYUSHO:KK;FUJI DENKI SEIZO KK |
发明人 |
HARUKI HIROSHI;FUJISAWA HIROBUMI;NISHIURA SHINJI |
| 分类号 |
H01J37/32;B01J19/00;B01J19/08;C23C16/50;C30B25/08 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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