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发明名称 MULTIPLE CHAMBER DEPOSITION AND ISOLATION SYSTEM AND METHOD
摘要
申请公布号 EP0076426(A3) 申请公布日期 1984.07.25
申请号 EP19820108699 申请日期 1982.09.21
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. 发明人 CANELLA, VINCENT D.;IZU, MASATSUGU;HUDGENS, STEPHEN J.
分类号 H01L31/04;C23C16/54;H01L21/00;H01L21/205;(IPC1-7):C23C11/00 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
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