发明名称 IN-LINE MASK CLEANING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0111708(A3) 申请公布日期 1984.07.25
申请号 EP19830110964 申请日期 1983.11.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 MAGEE, ROBERT ARTHUR;REMSEN, LAWRENCE PETER
分类号 B08B3/02;B41F35/00;B41N3/06;H05K3/12;(IPC1-7):B41F35/00 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
主权项
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