| 发明名称 |
ELECTRON BEAM EXPOSING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59124719(A) |
申请公布日期 |
1984.07.18 |
| 申请号 |
JP19820233763 |
申请日期 |
1982.12.29 |
| 申请人 |
FUJITSU KK |
发明人 |
YASUTAKE NOBUYUKI;YASUDA HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/027;H01J37/147;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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