发明名称
摘要
申请公布号 JPS5999460(U) 申请公布日期 1984.07.05
申请号 JP19820199047U 申请日期 1982.12.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/822;H01L21/339;H01L27/04;H01L29/76;H01L29/762;(IPC1-7):H01L29/76 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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