| 摘要 |
Appareil et procédé pour comparer les défauts d'une surface à des défauts standard. Il est possible de modifier l'intensité d'un signal dérivé d'un défaut de surface d'essai ou d'un signal dérivé d'un défaut standard jusqu'à ce que les intensités des défauts soient égales ou pratiquement égales. Dans un cas, ceci est effectué en fournissant de la lumière polarisée, l'angle de polarisation pouvant être modifié à volonté, la lumière polarisée étant divisée par un diviseur optique de faisceau de polarisation en deux signaux de lumière si bien que, en faisant varier l'angle de polarisation, on fait varier les proportions relatives des deux signaux de lumière produits par le diviseur optique de faisceau de polarisation, l'un des signaux de lumière étant influencé par la surface subissant l'examen et l'autre signal de lumière étant influencé par le défaut de référence; les signaux influencés par la surface et les défauts de référence sont ensuite comparés et l'angle de polarisation est modifié jusqu'à ce que les intensités des images des deux défauts paraissent être semblables ou se situent dans un certain rapport. |
