| 发明名称 |
PLASMA PROCESSING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59103340(A) |
申请公布日期 |
1984.06.14 |
| 申请号 |
JP19830172947 |
申请日期 |
1983.09.21 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
TSUCHIMOTO TAKASHI;SAKUMICHI KUNIYUKI;SUZUKI KEIZOU |
| 分类号 |
H01L21/31;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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