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发明名称 SURFACE INSPECTION SCANNING SYSTEM AND METHOD
摘要
申请公布号 EP0065051(A3) 申请公布日期 1984.05.23
申请号 EP19810305663 申请日期 1981.12.01
申请人 FORD AEROSPACE & COMMUNICATIONS CORPORATION 发明人 ALFORD, JERRY W.;CUSHING, CHARLES J.;HUNT, JAMES D.;SMITH, MICHAEL L.;VANDER NEUT, RICHARD D.;WILKES, JAMES L.
分类号 H01L21/66;G01N21/88;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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