| 发明名称 |
STEAM OXIDIZING DEVICE FOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5982731(A) |
申请公布日期 |
1984.05.12 |
| 申请号 |
JP19820192487 |
申请日期 |
1982.11.04 |
| 申请人 |
TOSHIBA KK |
发明人 |
NAGASAKA SHIYUUICHI;KANEKO SHIYOUKICHI |
| 分类号 |
H01L21/31;C04B41/50;C04B41/87;C23C8/16;C30B33/00;F22B27/00;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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