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摘要
申请公布号
JPS5920104(B2)
申请公布日期
1984.05.10
申请号
JP19780047595
申请日期
1978.04.21
申请人
BRYEL & KJER AS
发明人
IERUGEN IENSEN
分类号
G01L1/00;G01L1/16;G01L23/22;G01P15/09;G01P21/00;H01L41/113
主分类号
G01L1/00
代理机构
代理人
主权项
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