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发明名称 SPUTTERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3338377(A1) 申请公布日期 1984.04.26
申请号 DE19833338377 申请日期 1983.10.21
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 KIYOTA,HIDEHARU;HORIUCHI,MITSUAKI
分类号 C23C14/36;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/285;H01L21/3205;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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