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发明名称 SUBLIMATION PATTERNING PROCESS
摘要
申请公布号 EP0048328(A3) 申请公布日期 1984.04.25
申请号 EP19810106001 申请日期 1981.07.30
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 SCHULTE, ERIC F.;PORTER, VERNON R.
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/321;H01L21/768;H05K3/14;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/00;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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