发明名称 LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPS5968926(A) 申请公布日期 1984.04.19
申请号 JP19820180401 申请日期 1982.10.12
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 HIRANO RIYOUICHI;NAMISAKI HIROBUMI;SUZAKI WATARU;TANAKA TOSHIO
分类号 C30B19/06;C30B19/10;H01L21/208;H01S5/00 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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