| 发明名称 |
Producing narrow features in electrical devices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2127751(A) |
申请公布日期 |
1984.04.18 |
| 申请号 |
GB19830026620 |
申请日期 |
1983.10.05 |
| 申请人 |
THE * PLESSEY COMPANY PLC |
发明人 |
ANTHONY * MARSH |
| 分类号 |
H01L21/027;(IPC1-7):C08J7/10;H01L21/46 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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