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发明名称 HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3337156(A1) 申请公布日期 1984.04.12
申请号 DE19833337156 申请日期 1983.10.12
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI K.K. 发明人 TSUZUKI,MITSUO
分类号 H01L27/07;H01L29/866;(IPC1-7):H01L27/06;H01L23/56;H01L29/90 主分类号 H01L27/07
代理机构 代理人
主权项
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