发明名称 EXPOSURE OPERATING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5962858(A) 申请公布日期 1984.04.10
申请号 JP19820135945 申请日期 1982.08.04
申请人 OOKU SEISAKUSHO:KK 发明人 MIYAMOTO HIROSHI
分类号 G03B27/08;G03B27/04;G03F7/20;H05K3/00 主分类号 G03B27/08
代理机构 代理人
主权项
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