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发明名称 WAFER MOVING APPARATUS
摘要
申请公布号 GB8405239(D0) 申请公布日期 1984.04.04
申请号 GB19840005239 申请日期 1984.02.29
申请人 VARIAN ASSOCIATES INC 发明人
分类号 B65G49/07;C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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