| 发明名称 |
MANUFACTURE OF MIXTURE MAINLY COMPRISING TRICHLOROSILANE AVAILABLE FOR MANUFACTURING HIGH-PURITY SILICON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5945920(A) |
申请公布日期 |
1984.03.15 |
| 申请号 |
JP19830134511 |
申请日期 |
1983.07.25 |
| 申请人 |
ROONU PUURAN SUPESHIARITE SHIMIIKU |
发明人 |
JIYAN RIYUKU RUPAAJIYU;JIERAARU SHIMON |
| 分类号 |
C01B33/02;C01B33/027;C01B33/107 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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