| 发明名称 |
ATOMIC LAYER EPITAXIAL GROWTH OF THIN FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU535151(B2) |
申请公布日期 |
1984.03.08 |
| 申请号 |
AU19800055786 |
申请日期 |
1980.02.21 |
| 申请人 |
OY LOHJA A.B. |
发明人 |
TUOMO SUNTOLA;ARTO PAKKALA;SVEN LINDFORS |
| 分类号 |
C30B23/02;C23C16/30;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C30B23/08;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/02;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B23/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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