发明名称 DIFFUSIONSPUMPE FUER LECKDETEKTOREN.
摘要
申请公布号 CH641530(A5) 申请公布日期 1984.02.29
申请号 CH19790000446 申请日期 1979.01.17
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人 ARTHUR ARVID LANDFORS
分类号 F04F9/00;F04F9/08;(IPC1-7):F04F9/00;G01M3/02 主分类号 F04F9/00
代理机构 代理人
主权项
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