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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES FELDEFFEKTTRANSISTORS
摘要
申请公布号 DE3230945(A1) 申请公布日期 1984.02.23
申请号 DE19823230945 申请日期 1982.08.20
申请人 TELEFUNKEN ELECTRONIC GMBH, 7100 HEILBRONN, DE 发明人 KOHN, ERHARD, DR., 7105 LEINGARTEN, DE
分类号 H01L21/033;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/423;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/30;H01L21/31 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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