| 发明名称 |
INDIUM OXIDE/CERIUM OXIDE SPUTTERING TARGET, TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM AND PROCESS FOR PRODUCING TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1731629(A4) |
申请公布日期 |
2008.02.20 |
| 申请号 |
EP20050719324 |
申请日期 |
2005.02.21 |
| 申请人 |
IDEMITSU KOSAN CO., LTD. |
发明人 |
INOUE, KAZUYOSHI;MATSUBARA, MASATO;TOMAI, SHIGEKAZU |
| 分类号 |
C23C14/08;G02F1/1343;C23C14/34;C23C14/58;H01B5/14;H01B13/00;H01L21/285;H01L51/50;H05B33/14;H05B33/28 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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