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发明名称 PROCESS FOR MAKING AN INTEGRATED-CIRCUIT FIELD OXIDE
摘要
申请公布号 EP0098775(A3) 申请公布日期 1984.02.22
申请号 EP19830401332 申请日期 1983.06.28
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT DE CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL 发明人 JEUCH, PIERRE;PARRENS, PIERRE
分类号 H01L21/31;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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